变压吸附制氧机是生产氮气(或液氮)和氩、氖氦、氪氙等混合气体的成套设备。一般来说，空分设备多用于制氧。

变压吸附真空解吸制氧机(简称VPSA制氧机)，即在穿透大气压的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳、水等杂质，并在抽真空的条件下解吸分子筛，从而循环制备高纯氧(90~94%)。VPSA能耗低，设备越大，能耗越低。

变压吸附制氧机的工艺描述

变压吸附制氧机主要由鼓风机、真空泵、开关阀、吸附器和氧气平衡罐组成。在通过抽吸过滤器从原料中除去尘粒后，空气由罗茨鼓风机加压至0.3-0.5巴，并进入其中一个吸附器。吸附器内填充吸附剂，其中水、二氧化碳和少量其他气体成分被吸附器入口处底部填充的活性氧化铝吸附，然后氮气被填充在活性氧化铝上部的沸石分子筛吸附。而氧气(包括氩气)是非吸附组分，其作为产品气体从吸附器的顶部出口排放到氧气平衡罐。

当吸附器吸附到一定程度时，其中的吸附剂将达到饱和状态。此时用真空泵通过切换阀进行抽真空(与吸附方向相反)，真空度为0.65-0.75barg，将吸附的水分、二氧化碳、氮气和少量其他气体成分抽出排放到大气中，吸附剂再生。

变压吸附制氧机的每个吸附器交替执行以下步骤:

-吸附-解吸-冲压

以上三个基本工艺步骤由PLC和开关阀系统自动控制。

变压吸附制氧机技术特征

1.能耗相对较低。氧气产量越大，能耗越低。

2.维护成本低，动力设备是罗茨鼓风机和罗茨真空泵，因为它们的工作原理是容积式、无油、易于维护。

3.整套设备自动化程度高。动力设备和氧气发生器同步控制。只需按下启动按钮，整套设备即可正常运行。

4.适合中大型输出。